Equipamento de deposição por sputtering magnetron — HIPIMS de alta potência
O equipamento de deposição por sputtering magnetron caracteriza-se por alta velocidade de deposição, baixa temperatura do substrato e boa adesão da camada, permitindo a deposição em grande área. O equipamento DEYI de sputtering magnetron consegue obter camadas mais densas, uniformes e com melhor adesão, usando fontes de sputtering magnetron completamente novas, satisfazendo as necessidades de clientes de diferentes níveis.
A nova tecnologia de sputtering de alta velocidade e baixa temperatura expande significativamente a gama de aplicações dos equipamentos DEYI, oferecendo soluções de sputtering de alta qualidade para produtos que não podem ser aquecidos ou têm limitação térmica. O equipamento é fabricado com tecnologia inovadora, adequado para a deposição de filmes decorativos de alta qualidade e filmes de ligas.
Amplamente utilizado em talheres de plástico, capas de telemóveis, louças sanitárias, jantes de automóveis, acessórios de ferragem e placas, entre outros, também pode aplicar revestimentos por sputtering em produtos de plástico, cerâmica, mosaico, resina e vidro cristalino.
Apresentação do equipamento:
Especificações e dimensões da câmara de vácuo | Diâmetro: 700–3200 mm |
Tipo de estrutura | Portas verticais simples, portas verticais de abertura superior |
Sistema de obtenção de vácuo | Bombas de válvula deslizante, bombas de palhetas rotativas, bombas de difusão, bombas moleculares, bombas criogénicas |
Fonte de evaporação | Fonte de magnetron de alta velocidade, fonte de limpeza iónica, fonte de polarização pulsada, fonte de plasma magnetron |
Material da câmara | Aço inoxidável |
Controlo inteligente | PLC, ecrã tátil, controlo remoto sem fios |
Camada | Filme de plasma de camada única, filme composto, filme composto multicamada |
Controlo de gases | Controlo de fluxo de massa (MFC) |
Fonte de alvo para sputtering | Modelos plano, tubular, curvado e duplo |
Equipamentos podem ser personalizados com diferentes especificações e funções de acordo com as necessidades reais do cliente. | |
