磁控溅射镀膜设备

磁控溅射镀膜设备

2023-08-22 15:52:47   67

磁控溅射镀膜设备——HIPIMS 高功率磁控设备:成膜速率高、基材温度低、膜层附着力良好。

磁控溅射镀膜设备——HIPIMS 高功率磁控设备
笑脸

 

磁控溅射镀膜设备具有成膜速率高、基材温度低、膜层附着力好等特点,可实现大面积镀膜。德一磁控溅射镀膜设备可获得致密性、均匀性及附着力更优的膜层,并采用全新磁控溅射源,满足不同层次客户的需求。

 

全新的高速低温溅射技术大幅拓展了德一磁控设备的应用范围,为不能加热或耐热性受限的产品提供高质量的溅射镀膜方案。设备采用创新技术制造,适用于高档装饰膜和合金膜的镀制。

 

广泛应用于塑料餐具、手机外壳、卫浴洁具、汽车轮毂、五金饰品及标牌等,也可对塑料制品、陶瓷、马赛克、树脂和水晶玻璃制品进行溅射镀膜。

 

设备介绍:

真空室规格及尺寸

直径:700–3200 mm

结构形式

立式单门、立式顶开门

真空获得系统

滑阀泵、旋片泵、扩散泵、分子泵、冷泵

蒸发源

高速磁控源、离子清洗源、脉冲偏压源、等离子体磁控源

腔体材料

不锈钢

智能控制

PLC、触摸屏、无线遥控

膜层

单层等离子体膜、复合膜、多层复合膜

气体控制

MFC 质量流量控制

溅射靶源

平面式、圆管式、弧面式及孪生式

可根据客户实际需求,定制不同规格和功能的设备。

 

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